Präzisions-Drehtische
Seine hohe Auflösung und ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit über den gesamten Verfahrbereich erhält der Tisch u.a. durch präzise Closed-Loop DC Servomotoren mit integrierten hochauflösenden rotatorischen Encodern zur Positionsrückmeldung. Die Closed-Loop Steuerung schließt ein Verlust der Tischposition aus, wie es nach einer Anzahl Bewegungszyklen bei herkömmlichen Open-Loop Mikroschritt-Tischen der Fall sein kann.
Der PRS-1000 Präzisions-Drehtisch nutzt die bewährte präzise Steuerung von ASI durch die Verwendung von Servomotoren mit geschlossenem Regelkreis und winkelcodiertem Antrieb.
Die FTP-2000 Fokus Plattform wurde speziell zum präzisen Positionieren der X-, Y- und Z-Achse mit hoher Auflösung und hoher Wiederholgenauigkeit entwickelt.
Gantry Translation Stages der GTS-Serie bieten drei präzise DC-Servomotor-Linearantriebe mit geschlossenem Regelkreis, die in einer Reihe von Verfahrwegen erhältlich sind. Die abgebildete 15-Zoll-Standardeinheit ermöglicht einen Hub von 380 mm in den X- und Y-Koordinaten und einen Hub von 100 mm in der Z-Achse, wobei kleinere und größere Hubbereiche verfügbar sind.