Nanopositionierung
Die Nanopositionierung erfolgt optimal durch Piezoantriebe in Kombination mit Erodierbiegungen für Hebel und Führung. Diese Komponenten vermeiden Haftreibung und Reibung, so dass Positionen wirklich mit einer Genauigkeit von sogar Subnanometern eingestellt werden können. Bezogen auf die maximalen Verschiebungen sind Auflösungen von 5 ppm, Wiederholgenauigkeiten von 50 ppm und Linearitäten von 100 ppm möglich.
Z-Insert-Tische können in die meisten Standard-XY-Tische von Mikroskopen integriert werden. Sie bieten die genaueste Positionierung entlang der optischen Achse.
Feinpositionierung von Objektiven mit Subnanometerauflösung
X-, Z-, XY- und XYZ-Feinpositionierung mit Subnanometerauflösung
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