Nano-Positionierungssysteme
Die Nano-Positionierung erfolgt optimal durch Piezo-Antriebe in Kombination mit EDM-geschnittenen Flexures für Hebel und Führung. Diese Komponenten vermeiden Reibung, so dass die Positionen tatsächlich mit Sub-Nanometer-Genauigkeit eingestellt werden können. Bezogen auf die maximalen Auslenkungen sind Auflösungen von 5 ppm, Wiederholgenauigkeiten von 50 ppm und Linearitäten von 100 ppm möglich.
Z-Insert Tische
Z-Insert-Tische können in die meisten Standard-XY-Tische von Mikroskopen integriert werden. Sie bieten die genaueste Positionierung entlang der optischen Achse.
Objektiv Scanner
Feinpositionierung von Objektiven mit Subnanometerauflösung
Piezo-Stages 1D-2D-3D
X-, Z-, XY- und XYZ-Feinpositionierung mit Subnanometerauflösung
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