Nano-Positionierungssysteme

Die Nano-Positionierung erfolgt optimal durch Piezo-Antriebe in Kombination mit EDM-geschnittenen Flexures für Hebel und Führung. Diese Komponenten vermeiden Reibung, so dass die Positionen tatsächlich mit Sub-Nanometer-Genauigkeit eingestellt werden können. Bezogen auf die maximalen Auslenkungen sind Auflösungen von 5 ppm, Wiederholgenauigkeiten von 50 ppm und Linearitäten von 100 ppm möglich.

Z-Insert Tische

Z-Insert-Tische können in die meisten Standard-XY-Tische von Mikroskopen integriert werden. Sie bieten die genaueste Positionierung entlang der optischen Achse.

SPS Sample Z-Tische

SPS Sample Z-Inserts

Objektiv Scanner

Feinpositionierung von Objektiven mit Subnanometerauflösung

SFS QuickFocus 100 µm

SFS SlimFocus 150 µm

SFS RangeFocus 100-600 µm

SFS MegaFocus 1000 µm

Piezo-Stages 1D-2D-3D

X-, Z-, XY- und XYZ-Feinpositionierung mit Subnanometerauflösung

C1a X-Tische

CPa Z-Tische

C2a XY-Tische

L2a XY-Tische, Aperture

C3a CUBE XYZ-Tische

L3a XYZ-Tische, Aperture

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Frank Pobig - Geschäftsführer Micrasys e.K. - Closeup

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