Große Scanningtische

Seine hohe Auflösung und ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit über den gesamten Verfahrbereich erhält der Tisch u.a. durch präzise Closed-Loop DC Servomotoren mit integrierten hochauflösenden rotatorischen Encodern zur Positionsrückmeldung. Die Closed-Loop Steuerung schließt ein Verlust der Tischposition aus, wie es nach einer Anzahl Bewegungszyklen bei herkömmlichen Open-Loop Mikroschritt-Tischen der Fall sein kann.

Der MS-8000-Tisch eignet sich zur Verwendung mit großen industriellen Inspektionsmikroskopen.

Für die Halbleiterinspektion und andere anspruchsvolle Anwendungen sind größere Verfahrwege erforderlich. Für diese Anwendungen bietet ASI, Scanningtische in den unten gezeigten Standardgrößen an.

Gantry Translation Stages der GTS-Serie bieten drei präzise DC-Servomotor-Linearantriebe mit geschlossenem Regelkreis, die in einer Reihe von Verfahrwegen erhältlich sind. Die abgebildete 15-Zoll-Standardeinheit ermöglicht einen Hub von 380 mm in den X- und Y-Koordinaten und einen Hub von 100 mm in der Z-Achse, wobei kleinere und größere Hubbereiche verfügbar sind.

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Frank Pobig - Geschäftsführer Micrasys e.K. - Closeup

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