MS-2000 Flat-Top XY Scanning Tisch
Der MS-2000 wurde espeziel für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Wiederholgenauigkeit und Auflösung in der XY Achse designed. Der Tisch kann in Verbindung mit den bewährten MCL Z-Achsen-Motorantrieben von ASI verwendet werden. Seine hohe Auflösung und ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit über den gesamten Verfahrbereich erhält der Tisch u.a. durch präzise Closed-Loop DC Servomotoren mit integrierten hochauflösenden rotatorischen Encodern zur Positionsrückmeldung. Die Closed-Loop Steuerung schließt ein Verlust der Tischposition aus, wie es nach einer Anzahl Bewegungszyklen bei herkömmlichen Open-Loop Mikroschritt-Tischen der Fall sein kann. The MS-2000 XY stage utilizes crossed-roller slides, a high-precision lead screw, and zero-backlash miniature geared DC servomotors for smooth and accurate motion. The microprocessor-controlled MS-2000 control unit provides for RS-232 and USB communication with a host computer.
MS-2000 Specifications for Standard Configuration
| XY axis range of travel | 120 mm x 75 mm |
| XY axis resolution (encoder step) | 22 nm |
| XY axis RMS repeatability | < 700 nm |
| XY axis maximum velocity | 7 mm /sec |
| Max Recommended Load (*higher loads available upon request) |
5kg |
*Shown with 6.35 mm pitch Lead Screw
